半導體行業

芳銳秉持最好生產技術並嚴格把關產品的製造過程,我們專門生產各式空壓閥,如電磁閥、氣動閥、機械閥、手動閥;另外也提供種類繁多的氣壓元件,如過濾器、油霧器、氣缸、快速接頭等等。您可於以下分類找到您要的產品,若有任何問題,請與我們聯絡。

半導體行業 - FMGE / FMDV 隔膜閥半導體行業 - FMGE / FMDV 隔膜閥

半導體行業 - FMGE / FMDV 隔膜閥

出廠測試 : 100% 氦氣洩漏率檢測
使用壽命 : 500 萬次
浸潤面粗糙度 : 0.13 μm ( 5 uin )
浸潤面拋光製程 : 電解拋光
組裝環境 : ISO 5 級 / Federal 100 級無塵室
包裝 : 在無塵室完成雙層包裝

產品規格

工作壓力 真空 ~ 300 Psig
內漏率 ≤1 x 10 - 11 Pa.m3/sec.He
外漏率 ≤ 1 x 10 - 11 Pa.m3/sec.He
工作溫度 -10 ~ 80℃
流量係數 ( Cv ) 0.3、0.65
工作壓力 真空 ~ 300 Psig

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